eds是什么意思？

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2022-10-04 17:57

1个回答

2022-10-04 22:07

eds是指能谱仪。

能谱仪(EDS,Energy Dispersive Spectrometer)是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。

指标：

固体角：决定了信号量的大小，该角度越大越好

检出角：理论上该角度越大越好

探头：新型硅漂移探测器（SDD）逐步取代锂硅Si(Li)探测器

能量分辨力：最高级别的能谱仪分辨力可达121eV

探测元素范围：Be4～U92

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