无尘室的等级有哪些?

2022-12-11 13:32

1个回答
无尘室的等级要求及等级划分:
每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。0.5uM及以下的微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别,无尘室吸尘器每个立方米内含的灰尘粒子越少表示无尘室等级越高。
无尘室等级从高到低可划分为:百级,千级,万级,十万级。
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