二零二三年九月十七日市场逻辑精选逻辑红宝书二零二三年九月十七日一市场热点稳泰微巨术清华论文提供国产EUV光源理论解决方案事件。二零二三年九月十五日，盘中网传消息，清华大学稳泰微巨术SSMB路线光刻工厂方案在雄安开工。该方案使用同步辐射源和自由电子激光两种混合光源使用粒子加速器产生EUV光刻激光源高能同步辐射光源HAPPS基于电子储存环。接近光速运动的电子经过波荡器产生的磁场后发生偏转，加入激光调制系统后，可使电子数内电子几乎同时经过波荡器的同一个位置。获得高功率，高中频，窄带宽的相干辐射。通过设置控制条件，可使辐射光满足EUV光刻机光源的标准。自由电子激光FILE基于电子直线加速器接近光速运动的电子数经过波荡器后，改变电子数的纵向密度分布，实现更高的峰值亮度和真正的短波长向杆光源区别于传统激光器。FI辐射光来自于在波荡器中做牛板运动的自由电子，而非束缚电子。相关公司，东方钽业超导材料制品吉尼超导枪为粒子加速器的核心部件。中广合计国内工业电子加速器龙头企业。二零二三年上半年，国际市场加速器销售新千。
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