微电子制造工艺技术

更新时间:2023-06-15 23:05

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他常年从事集成电路工艺技术和科研教学工作,在微电子薄膜材料和加工工艺,特别是金属养规划物和互联技术方面,开讲了多项前沿课题研究病,长期为微电子专业的研究生主讲集成电子工艺的课程

硅基制造工艺 序作

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