1、半导体设备五大龙头
北方华创
中微公司
华海清科
盛美上海
拓荆科技
2、半导体设备细分龙头
精测电子
万业企业
长川科技
华峰测控
晶盛机电
高测股份
芯源微
至纯科技
耐科装备
联动科技
金海通
微导纳米
3、半导体设备零部件
富创精密、新莱应材、华亚智能、江丰电子、神工股份、英杰电气、汉钟精机
其它：富乐德
4、半导体材料之硅片
沪硅产业、TCL中环、立昂微、神工股份、中晶科技、有研硅
5、半导体材料之掩膜版
路维光电、清溢光电
6、半导体材料之电子特气
华特气体、雅克科技、昊华科技、金宏气体、凯美特气、正帆科技、南大光电、和远气体
7、半导体材料之光刻胶
彤程新材、晶瑞电材、华懋科技、飞凯材料、容大感光、上海新阳、南大光电
8、半导体材料之湿电子化学品
江化微、晶瑞电材、石大胜华、盛剑环境
9、半导体材料之CMP材料
鼎龙股份、安集科技
10、半导体材料之靶材
江丰电子、有研新材、隆华科技
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