超大规模集成电路互连线分析与综合

李培刚说，李培刚告诉记者，硅光芯片制造技术是基于硅和硅基衬底材料，利用互补金属氧化物，半导体工艺进行光气检开发和集成的技术，即结合了集成电路技术超大规模，超高精度制造的特性和光子技术，超高速率，超低功耗的优势与现有的半导体晶圆制造技术是相辅相成的

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